水溶液为无色透明的发烟液体，相对密度1.32，沸点108.50℃，有刺激性气味，易挥发，可溶于水，有消毒性能，氟硅酸没有无水产品。最高浓度为60.92%。组成为13.3%时最稳定。蒸馏时不分解，能腐蚀玻璃、陶瓷、铅及其它金属，对皮肤有强烈腐蚀，对人的呼吸器官有害。